申请/专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司

申请日：2022-12-29

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115653421B

主分类号：E05C17/02

分类号：E05C17/02;E05C19/10;E05F1/10;C23C14/00;C23C16/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权;2023.02.21#实质审查的生效;2023.01.31#公开

摘要：本发明提供一种带关闭按钮的腔体盖开合结构及气相沉积设备，该腔体盖开合结构包括腔体连接模块、腔体盖固定块、助力模块及关闭按钮，其中，助力模包括自下而上依次设置的联动杆、下连接块、下锁钩、上锁钩、中连接块、弹性模块及上连接块，当关闭按钮被按下时，下锁钩脱钩于上锁钩。本发明的腔体盖开合结构整体上采用机械传动机构，不仅结构小巧，节省空间，还能够安全可靠地运行，在无电力驱动的条件下实现腔体盖的快速开启与关闭，提升了设备的运行和检修效率，使设备产能进一步提高，同时不会磨损腔体。腔体连接模块与腔体盖固定块之间的助力模块可以在开合盖的过程中提供开启闭合的力矩，使开合盖更加省力高效，操作人员可轻松的开启腔体盖。

主权项：1.一种带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于，包括：腔体连接模块；腔体盖固定块，内部设有收容空间且底部漏空，所述腔体连接模块的顶部自所述腔体盖固定块的底部伸入所述收容空间内，所述腔体盖固定块与所述腔体连接模块之间通过第一活动轴活动连接以使所述腔体盖固定块能够以所述第一活动轴为转动轴在预设角度范围内转动；助力模块，位于所述收容空间内并包括自下而上依次设置的联动杆、下连接块、下锁钩、上锁钩、中连接块、弹性模块及上连接块，其中，所述联动杆的下端通过第二活动轴与所述腔体连接模块活动连接，所述联动杆的上端通过第三活动轴与所述下连接块活动连接，所述下锁钩通过第四活动轴与所述下连接块活动连接，所述上锁钩与所述中连接块固定连接，所述弹性模块的下端与所述下连接块固定连接，所述弹性模块的上端与所述上连接块固定连接；关闭按钮，包括按钮盖及按钮杆，所述按钮盖位于所述腔体盖固定块外部，所述按钮杆的一端与所述按钮盖连接，另一端伸入所述下连接块内，当所述关闭按钮被按下时，所述按钮杆推动所述下锁钩以使所述下锁钩以所述第四活动轴为转动轴转动预设角度而脱钩于所述上锁钩；扭力弹簧，套设于所述第四活动轴上，所述扭力弹簧的一端与所述下连接块连接，所述扭力弹簧的另一端与所述下锁钩连接；复位模块，与所述中连接块连接以推动所述中连接块向下运动使所述上锁钩与所述下锁钩重新连接。

全文数据：

权利要求：

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