申请/专利权人：苏州南北深科智能科技有限公司

申请日：2022-11-16

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN218631970U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权

摘要：本实用新型涉及一种限位传输辊轴及传输装置，包括：轴杆，在所述轴杆的辊面上开设有键槽；平键，设置在所述键槽中，与所述键槽间隙配合，所述平键与所述轴杆的材质相同；支撑件，套设在所述轴杆上，所述支撑件与所述平键连接。本实用新型提供一种限位传输辊轴及硅片传输装置，支撑件通过与轴杆相同材质的平键转接在轴杆上，平键与轴杆同步膨胀，保证支撑件与轴杆相对位置的稳定性，从而解决支撑件晃动的问题。

主权项：1.一种限位传输辊轴，其特征在于，包括：轴杆，在所述轴杆的辊面上开设有键槽；平键，设置在所述键槽中，与所述键槽间隙配合，所述平键与所述轴杆的材质相同；支撑件，套设在所述轴杆上，所述支撑件与所述平键连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州南北深科智能科技有限公司 一种限位传输辊轴及硅片传输装置

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