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【实用新型】一种具有温控装置的砷化镓升华炉_大庆菲曼希精密设备制造有限公司_202223091040.0 

申请/专利权人:大庆菲曼希精密设备制造有限公司

申请日:2022-11-21

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN218621139U

主分类号:C30B29/42

分类号:C30B29/42;C30B11/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.14#授权

摘要:本实用新型提一种具有温控装置的砷化镓升华炉。涉及半导体晶体生长设备技术领域。坩埚垂直方向等间距排列有四个加热元件,相邻的加热元件之间设有隔板,隔板上加工有凸起的台阶环,加热元件插在台阶环内,隔板通过支撑柱和螺母固定。本实用新型具有如下有益效果:设置隔板将各个加热元件分隔在不同的腔室内,供给四个加热元件不同的加热功率,使坩埚内形成由下至上温度逐渐增加的温度梯度,在此温度梯度的驱动下,促进晶体的生长,将两个相邻的加热元件隔离开,阻隔了相邻不同加热温度的加热元件之间的热对流及热辐射,由下至上温度增加的温度梯度更稳定,热电偶放置在石英管、石英套的管壁内,更接近于坩埚的实际温度,控制温度更精准。

主权项:1.一种具有温控装置的砷化镓升华炉,包括底座1,其特征在于:底座1与炉体2通过密封圈连接,炉体2里侧设有保温桶3,保温桶3插在底座1上加工的环槽内,底座1中心的台阶孔内安装有坩埚托4,坩埚托4上部放置有坩埚8,坩埚8外侧为石英套,石英套外侧为加热元件6;坩埚8垂直方向等间距排列有四个加热元件6,加热元件6为圆环状结构,相邻的加热元件6之间设有隔板14,隔板14上加工有凸起的台阶环16,加热元件6插在台阶环16内,隔板14通过支撑柱5和螺母固定,支撑柱5圆周布置且数量不少于三个,支撑柱5插在底座1的台阶孔内,隔板14将石英套分割为下面三个石英管7和最上面的石英帽10,隔板14与保温桶3内孔间隙配合连接,隔板14与坩埚8外圆间隙配合连接,石英管7、石英帽10的端部管壁上开有盲孔17,盲孔17内放置有热电偶9;保温桶3顶部设有排气管11,排气管11通过密封圈伸出到炉体2外部,底座1上设有进气孔12。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 大庆菲曼希精密设备制造有限公司 一种具有温控装置的砷化镓升华炉

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