申请/专利权人：先进科技新加坡有限公司

申请日：2022-09-07

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN218631935U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/603;G01L5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权

摘要：本实用新型涉及一种用于检测键合设备键合力的装置及包括该检测装置的键合设备，所述键合设备包括键合工具以及键合工具夹具，该键合设备进一步包括键合力检测装置，该键合力检测装置包括：可变形安装部件，该可变形安装部件包括当键合设备通过键合工具施加键合力时会发生形变的可变形部分，以及安装在所述可变形安装部件的可变形部分上的至少一个应变式传感器，所述可变形安装部件安装在所述键合工具夹具上以使得键合工具施加键合力时所受到的反作用力传输到所述可变形安装部件的可变形部分。

主权项：1.一种键合设备，该键合设备包括键合工具以及键合工具夹具，其特征在于该键合设备进一步包括键合力检测装置，该键合力检测装置包括：可变形安装部件，该可变形安装部件包括当键合设备通过键合工具施加键合力时发生形变的可变形部分，以及安装在所述可变形安装部件的可变形部分上的至少一个应变式传感器，所述可变形安装部件安装在所述键合工具夹具上以使得所述键合工具施加键合力时所受到的反作用力传输到所述可变形安装部件的可变形部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先进科技新加坡有限公司 用于检测键合设备键合力的装置及包括该装置的键合设备

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