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【实用新型】一种干燥装置_成都尚明工业有限公司_202222554313.4 

申请/专利权人:成都尚明工业有限公司

申请日:2022-09-27

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN218627593U

主分类号:F26B11/18

分类号:F26B11/18;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.14#授权

摘要:本实用新型提供了一种干燥装置,涉及半导体加工技术领域。本实用新型包括圆柱形的壳体,壳体顶部设有顶盖,顶盖底部设有散气盘,壳体底部转动设有撑架,撑架上设有物料架,壳体底部设有排液管,壳体内壁中设有排气腔,所述排气腔底端与壳体内部连通,所述排气腔顶部与壳体外部连通,所述散气盘底部布满多个散气孔。

主权项:1.一种干燥装置,其特征在于,包括:壳体,呈圆柱形;顶盖,设于壳体顶部;散气盘,设于顶盖底部;撑架,转动设于壳体底部;物料架,设于撑架上;排液管,设于壳体底部;排气腔,设于壳体内壁中;其中,所述排气腔底端与壳体内部连通,所述排气腔顶部与壳体外部连通,所述散气盘底部布满多个散气孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 成都尚明工业有限公司 一种干燥装置

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