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【实用新型】一种乙硼烷尾气处理装置_博纯材料股份有限公司_202222858854.6 

申请/专利权人:博纯材料股份有限公司

申请日:2022-10-28

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN218608791U

主分类号:B01D53/78

分类号:B01D53/78;B01D53/72;B01F27/906

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.14#授权

摘要:本实用新型公开了一种乙硼烷尾气处理装置,包括处理罐,所述处理罐的底部设置有驱动机构,所述处理罐的顶部固定连接有连接套管,所述处理罐的顶部设置有位于连接套管一侧的排气管,所述连接套管的顶部连通设置有进气管,所述连接套管的底部密封转动连接有位于处理罐内部的主连接管,所述连接套管与主连接管连通设置,所述主连接管的外周面一体连接有搅拌管,所述主连接管的底部与驱动机构固定安装,所述搅拌管与主连接管连通设置。通过进气管将乙硼烷尾气输送进主连接管与搅拌管,并均匀的分散在尾气处理液中,提高乙硼烷尾气的处理效率,在搅拌管的搅拌下形成悬浊液防止沉淀堵塞管道。

主权项:1.一种乙硼烷尾气处理装置,包括处理罐(1),其特征在于,所述处理罐(1)的底部设置有驱动机构(4),所述处理罐(1)的顶部固定连接有连接套管(6),所述处理罐(1)的顶部设置有位于连接套管(6)一侧的排气管(3),所述连接套管(6)的顶部连通设置有进气管(2),所述连接套管(6)的底部密封转动连接有位于处理罐(1)内部的主连接管(7),所述连接套管(6)与主连接管(7)连通设置,所述主连接管(7)的外周面一体连接有搅拌管(8),所述主连接管(7)的底部与驱动机构(4)固定安装,所述搅拌管(8)与主连接管(7)连通设置,所述搅拌管(8)的底部开设有出气口(9)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 博纯材料股份有限公司 一种乙硼烷尾气处理装置

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