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【发明公布】半导体设备_长鑫存储技术有限公司_202111062404.X 

申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

申请日:2021-09-10

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115799105A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要:本申请实施例涉及半导体领域,提供一种半导体设备,包括:具有适于锁紧开口部的锁紧装置的管道和具有控制阀和开口部的容纳装置;感应装置用于获取容纳装置中存储介质的余量;传送装置用于使容纳装置沿容纳装置延伸方向移动和沿垂直于容纳装置延伸方向的方向移动至预设位置;锁紧驱动装置与锁紧装置固定连接,若容纳装置到达预设位置,则锁紧驱动装置驱动锁紧装置以使锁紧装置锁紧开口部,若存储介质的余量小于预设值,锁紧驱动装置驱动锁紧装置以使锁紧装置与开口部分离;驱动控制装置,用于判断存储介质的余量是否小于预设值,并生成驱动锁紧驱动装置运动的驱动信号。本申请实施例至少可以提高半导体设备的自动化程度和降低存储介质泄露风险。

主权项:1.一种半导体设备,其特征在于,包括:管道和容纳装置,所述容纳装置具有控制阀和开口部,所述控制阀控制所述开口部处于导通或关闭状态,所述管道具有锁紧装置,所述锁紧装置适于锁紧所述开口部,以使所述容纳装置与所述管道相连通;感应装置,用于获取所述容纳装置中存储介质的余量;传送装置,所述容纳装置位于所述传送装置上,所述传送装置用于使所述容纳装置沿所述容纳装置的延伸方向移动和沿垂直于所述容纳装置延伸方向的方向移动,以使所述容纳装置传送至预设位置;锁紧驱动装置,与所述锁紧装置固定连接,若所述容纳装置到达所述预设位置,则所述锁紧驱动装置驱动所述锁紧装置运动以使所述锁紧装置锁紧所述开口部,且若所述存储介质的余量小于预设值,所述锁紧驱动装置驱动所述锁紧装置运动以使所述锁紧装置与所述开口部分离;驱动控制装置,用于判断所述存储介质的余量是否小于所述预设值,并生成驱动所述锁紧驱动装置运动的驱动信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 长鑫存储技术有限公司 半导体设备

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