申请/专利权人：叶维彰

申请日：2021-09-15

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115810571A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆缺角自动对齐装置，包括本体、晶圆旋转机构及晶圆定位机构。本体具有晶舟放置部。晶圆旋转机构设置于本体上并且包括转轴，转轴延伸通过晶舟放置部，转轴的轴线与本体之间的夹角的角度大于0°且小于90°。晶圆定位机构设置于本体上并且包括定位件，定位件延伸通过晶舟放置部，定位件的轴线平行于转轴的轴线。因此，本发明能够通过倾斜的转轴和定位件将多片晶圆呈现阶梯状分布，防止各晶圆的刻号被其他晶圆挡住，还可达成旋转晶圆、缺角对齐及刻号辨识等功效。

主权项：1.一种晶圆缺角自动对齐装置，其特征在于，包括：一本体，具有一晶舟放置部；一晶圆旋转机构，设置于所述本体上，并且包括一转轴，所述转轴延伸通过所述晶舟放置部，所述转轴的一轴线与所述本体之间的一夹角的角度大于0°且小于90°；以及一晶圆定位机构，设置于所述本体上，并且包括一定位件，所述定位件延伸通过所述晶舟放置部，所述定位件的一轴线平行于所述转轴的所述轴线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 叶维彰 晶圆缺角自动对齐装置

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