申请/专利权人:京瓷株式会社
申请日:2021-07-06
公开(公告)日:2023-03-17
公开(公告)号:CN115812069A
主分类号:C04B35/582
分类号:C04B35/582
优先权:["20200713 JP 2020-120020","20201015 JP 2020-174081"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.12.19#授权;2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开
摘要:本发明的试样保持工具10具备:氮化铝基体1和设于该氮化铝基体1的内部电极2。所述氮化铝基体1具有:多个氮化铝粒子11、以及位于该氮化铝粒子11之间的晶界的氧氮化铝粒子12。所述氧氮化铝粒子12中固溶有钛13。
主权项:1.一种试样保持工具,其特征在于,具备:氮化铝基体,所述氮化铝基体具有多个氮化铝粒子以及位于该氮化铝粒子之间的晶界的氧氮化铝粒子;以及设于该氮化铝基体的内部电极,所述氧氮化铝粒子中固溶有钛。
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