申请/专利权人：英福康有限责任公司

申请日：2021-07-15

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115812143A

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：["20200724 DE 102020119600.8"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要：本发明涉及一种真空检漏系统10，包括：具有测试室进气口20和测试室出气口22的测试室单元12；具有气体检测进气口32和气体检测出气口34的气体检测单元14；和气体控制单元16，其将测试室进气口20和测试室出气口22连接到气体检测进气口32和气体检测出气口34，其与测试室单元12和气体检测单元14连接，并且具有独立的气体传导通路48、52、54、56、60以用于选择性地连接测试室单元12和气体检测单元14的进气口20、40和出气口22、34，其中气体控制单元16具有与大气相通的第三进气口44，并且第三进气口44可以通过贯穿气体控制单元16的气体传导通路48与测试室进气口20连接，以便将由第三进气口44吸入的运载气体供应到测试室单元12。

主权项：1.一种真空检漏系统10，包括：测试室单元12，其具有测试室进气口20和测试室出气口22；气体检测单元14，其具有气体检测进气口32和气体检测出气口34；和气体控制单元16，其将所述测试室进气口20和所述测试室出气口22连接到所述气体检测进气口32和所述气体检测出气口34，所述气体控制单元16与所述测试室单元12和所述气体检测单元14连接，并且所述气体控制单元16具有独立的气体传导通路48、52、54、56、60，用于选择性地连接所述测试室单元12和所述气体检测单元14的所述进气口20、40和所述出气口22、34，其中所述气体控制单元16具有第三进气口44，所述第三进气口44与大气相通，并且可以通过贯穿所述气体控制单元16的所述气体传导通路48与所述测试室进气口20连接，以便将运载气体供应到所述测试室单元12，所述运载气体经由所述第三进气口44被吸入。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英福康有限责任公司 真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法

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