申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2022-09-08

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115808427A

主分类号：G01N21/95

分类号：G01N21/95;G01N21/01;G01B21/24;G01B11/24

优先权：["20210915 JP 2021-150457"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要：端部状态确认装置包含旋转保持装置、光出射部及摄像部。将至少一部分具有圆形状且于外周端部设置着保护部件的衬底搬入到所述端部状态确认装置。搬入的衬底保持于旋转保持装置。摄像部具有摄像区域，构成为能接收透过衬底及保护部件的红外光。光出射部将红外光出射到摄像部的摄像区域。衬底的外周端部的至少一部分以预设的规定姿势配置于摄像部的摄像区域中预设的规定位置。

主权项：1.一种端部状态确认装置，确认至少一部分具有圆形状且于外周端部设置着保护部件的衬底的端部状态，且具备：衬底保持部，保持所述衬底；光出射部，朝由所述衬底保持部保持的所述衬底的外周端部，出射能透过所述衬底及所述保护部件的波长的光；及摄像部，通过接收从所述光出射部出射并透过所述衬底的外周端部及所述保护部件的光，而拍摄所述衬底的外周端部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 端部状态确认装置

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