申请/专利权人：广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司惠州供电局

申请日：2022-11-24

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115805202A

主分类号：B08B1/02

分类号：B08B1/02;B08B1/00;B08B15/04;B08B13/00;B05C9/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要：本发明涉及表面处理技术领域，公开了一种表面处理装置及其使用方法，包括罩体、第一清理装置及第二清理装置，罩体内设置有输送装置，用于沿第一方向输送待清洁基板；第一清理装置包括两组第一清理组件和第一驱动装置，两组第一清理组件沿竖直方向间隔设置于罩体内，第一驱动装置驱动两组第一清理组件沿竖直方向靠近或远离，以使两组第一清理组件清理待清洁基板上下表面；第二清理装置包括两组第二清理组件和第二驱动装置，两组第二清理组件沿第二方向间隔设置于所述罩体内，第二方向与第一方向相垂直，第二驱动装置驱动两组第二清理组件沿第二方向靠近或远离，以使两组第二清理组件清理待清洁基板沿所述第二方向的两侧边。

主权项：1.表面处理装置，其特征在于，包括：罩体2，所述罩体2内设置有输送装置3，所述输送装置3用于沿第一方向输送待清洁基板；第一清理装置，包括两组第一清理组件和第一驱动装置4，两组所述第一清理组件沿竖直方向间隔设置于所述罩体2内，所述第一驱动装置4被配置为驱动两组所述第一清理组件沿竖直方向靠近或远离，以使两组所述第一清理组件清理所述待清洁基板上下表面；及第二清理装置，包括两组第二清理组件和第二驱动装置5，两组所述第二清理组件沿第二方向间隔设置于所述罩体2内，所述第二方向与所述第一方向相垂直，所述第二驱动装置5被配置为驱动两组所述第二清理组件沿第二方向靠近或远离，以使两组所述第二清理组件清理所述待清洁基板沿所述第二方向的两侧边。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司惠州供电局 表面处理装置及其使用方法

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