申请/专利权人：西北工业大学

申请日：2022-11-29

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115808260A

主分类号：G01L1/25

分类号：G01L1/25;H03H9/02;H03H3/08;G01K11/26;G01K1/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要：本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底中，获取压力敏感单元与温度敏感单元的声表面波。实现高温转子压力和温度测量，并提高了测量准确性。

主权项：1.一种声表面波微传感器，其特征在于，所述微传感器包括：下层基底，所述下层基底上设有盲槽；设于所述下层基底上所述盲槽所在侧的上层基底，所述上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接所述第一通孔和所述第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及所述第一通孔、所述第二通孔、所述第一应力释放桥和所述第二应力释放桥围成的应力隔离梁，所述应力隔离梁靠近所述下层基底侧悬空；所述盲槽与所述上层基底密封为压力敏感单元，所述压力敏感单元用于测量压力；所述应力隔离梁与所述下层基底连接为温度敏感单元，所述温度敏感单元用于测量温度；所述压力敏感单元和所述温度敏感单元没有重合区域，所述压力敏感单元和所述温度敏感单元的声表面波谐振频率、工作频段均不同；设于所述上层基底上的导电层，所述导电层被配置为转换交流电信号为周期性电磁场，将所述周期性电磁场加载至所述上层基底中，获取所述压力敏感单元与所述温度敏感单元的声表面波。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西北工业大学 一种声表面波微传感器及其制备方法

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