申请/专利权人：河南通用智能装备有限公司

申请日：2022-11-30

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115810568A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/78

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆冷扩热缩装置及其冷扩热缩方法，包括机架，还包括设置在机架上的冷扩机构和热缩机构，所述冷扩机构和热缩机构之间设置有用于将冷扩机构中的产品转移至热缩机构中的转移机构。优点：通过设置冷扩机构，利用DAF膜在低温环境下脆化的特性，在低温环境下进行扩展，能够实现高品质的DAF膜的分离。热缩机构的设计能够消除在冷扩机构中扩展的UV膜外围所产生的松弛，不必重新更换钢环来安装经过伸展后的UV膜，可直接将产品送入贴片工序。解决了全切割时DAF膜毛边问题，有效的节约了成本、提高工作效率以及晶粒的良品率。

主权项：1.一种晶圆冷扩热缩装置，包括机架1，其特征在于：还包括设置在机架1上的冷扩机构4和热缩机构5，所述冷扩机构4和热缩机构5之间设置有用于将冷扩机构4中的产品转移至热缩机构5中的转移机构8。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南通用智能装备有限公司 一种晶圆冷扩热缩装置及其冷扩热缩方法

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