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【发明公布】一种显影液供给装置_芯达半导体设备(苏州)有限公司_202211552326.6 

申请/专利权人:芯达半导体设备(苏州)有限公司

申请日:2022-12-05

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN115808860A

主分类号:G03G15/10

分类号:G03G15/10;G03G21/16;G03G21/18

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态:2023.12.05#发明专利申请公布后的撤回;2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开

摘要:本发明属于显影液供给技术领域,特别涉及一种显影液供给装置。包括供液机构、供液驱动机构、导向机构及底座,其中供液驱动机构设置于底座上,供液机构设置于供液驱动机构上,且供液机构通过多个导向机构与底座连接,供液机构通过伸缩实现向显影单元内加显影液,供液驱动机构为供液机构的伸缩提供动力。本发明通过承装有显影液的机械结构的压缩作用,实现向显影单元内加显影液,从而避免了显影液因产生气泡影响工艺效果的问题,提高了显影单元的显影工艺效果,且提高了工作效率。

主权项:1.一种显影液供给装置,其特征在于,包括供液机构10、供液驱动机构、导向机构及底座30,其中供液驱动机构设置于底座30上,供液机构10设置于供液驱动机构上,且供液机构10通过多个导向机构与底座30连接,供液机构10通过伸缩实现向显影单元内加显影液,供液驱动机构为供液机构10的伸缩提供动力。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 芯达半导体设备(苏州)有限公司 一种显影液供给装置

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