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【发明授权】一种ITO靶材的磨边倒角方法_先导薄膜材料(广东)有限公司_202210245389.0 

申请/专利权人:先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日:2022-03-13

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN114888663B

主分类号:B24B9/06

分类号:B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.17#授权;2022.08.30#实质审查的生效;2022.08.12#公开

摘要:本发明公开了一种ITO靶材的磨边倒角方法,旨在保证靶材的生产质量,其技术方案:涉及一磨床、一固定平台;所述固定平台上设有一倾斜面;所述固定平台上设有用于夹紧靶材的侧面的夹紧组件,所述倾斜面上设有用于导向切削液流动的导流槽,所述导流槽从倾斜面的较高端延伸至较低端;包括如下步骤:将固定平台固定在磨床上;将靶材放置在倾斜面上,并通过夹紧组件夹紧靶材的侧面使靶材固定在固定平台上;其中,靶材覆盖在导流槽上;开启磨床、切削液;磨床的砂轮磨削靶材的较高侧的顶边;砂轮磨削完靶材的较高侧的顶边后,关闭磨床、切削液;取下靶材,去毛刺,属于靶材加工技术领域。

主权项:1.一种ITO靶材的磨边倒角方法,其特征在于,涉及一磨床、一固定平台1;所述固定平台1上设有一倾斜面A,靶材a在加工时放置在所述倾斜面A上;所述固定平台1上设有用于夹紧靶材a的侧面的夹紧组件2,所述倾斜面A上设有用于导向切削液B流动的导流槽3,所述导流槽3从倾斜面A的较高端延伸至较低端;所述导流槽3的较高端为开放端,较低端为封闭端;包括如下步骤:将固定平台1固定在磨床上;将靶材a放置在倾斜面A上,并通过夹紧组件2夹紧靶材a的侧面使靶材a固定在固定平台1上;其中,靶材a覆盖在导流槽3上;开启磨床、切削液B;磨床的砂轮C与切削液B同步移动,砂轮C磨削靶材a的较高侧的顶边使其形成倒角;在磨削靶材a前,砂轮C沿着磨削方向空走至少1个行程以使切削液B充满导流槽3;砂轮C磨削完靶材a的较高侧的顶边后,关闭磨床、切削液B;取下靶材a,去毛刺。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO靶材的磨边倒角方法

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