申请/专利权人：无锡麟力科技有限公司

申请日：2022-12-19

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115621344B

主分类号：H01L31/0336

分类号：H01L31/0336;H01L31/109;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权;2023.02.10#实质审查的生效;2023.01.17#公开

摘要：本发明提出一种异质结日盲探测器及其制备方法，异质结日盲探测器依次包括：基板、第一金属电极层、氧化镓层、氧化镓纳米片和单层石墨烯纳米片混合层、单层石墨烯层及第二金属电极层；混合层由氧化镓纳米片和填充于相邻氧化镓纳米片间隙中的单层石墨烯纳米片组成，其中单层石墨烯纳米片占混合层体积比的范围为1%~5%，氧化镓纳米片为单晶β‑氧化镓纳米片。本发明的异质结日盲探测器具有高响应度、可自驱动和低背景噪声的优异性能。

主权项：1.一种异质结日盲探测器，其特征在于，所述异质结日盲探测器依次包括：基板、第一金属电极层、氧化镓层、氧化镓纳米片和单层石墨烯纳米片混合层、单层石墨烯层及第二金属电极层；所述氧化镓纳米片和单层石墨烯纳米片混合层由氧化镓纳米片和填充于相邻所述氧化镓纳米片间隙中的单层石墨烯纳米片组成，其中所述单层石墨烯纳米片占所述氧化镓纳米片和单层石墨烯纳米片混合层体积比的范围为1%~5%，所述氧化镓纳米片为单晶β-氧化镓纳米片。

全文数据：

权利要求：

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