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【实用新型】一种单晶生长的温度调节装置及系统_内蒙古恒嘉晶体材料有限公司_202222372155.0 

申请/专利权人:内蒙古恒嘉晶体材料有限公司

申请日:2022-09-06

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN218642872U

主分类号:C30B35/00

分类号:C30B35/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.17#授权

摘要:本申请涉及晶体生长技术领域,具体而言,涉及一种单晶生长的温度调节装置及系统,一定程度上可以解决籽晶冷却过程温度调节差的问题。单晶生长的温度调节装置包括籽晶杆、水路转换组件和气体转换组件;籽晶杆包括主杆,主杆内设有进水内管、出水内管和进气内管;其中,进水内管的出水口与出水内管的进水口连通,进气内管的排气部设置在主杆的一端;水路转换组件活动套设在籽晶杆上,且可选择的绕籽晶杆旋转;气体转换组件活动套设在籽晶杆上,且可选择的绕籽晶杆旋转。在单晶生长的温度调节装置内部设有冷却循环水路和气路,水路用来降低籽晶杆和籽晶的温度,气路通过排气部输出,控制籽晶的温度,以及坩埚内的目标液体上方的温度。

主权项:1.一种单晶生长的温度调节装置,其特征在于,包括:籽晶杆,所述籽晶杆包括主杆,所述主杆内设有进水内管、出水内管和进气内管;其中,所述进水内管的出水口与所述出水内管的进水口连通,所述进气内管的排气部设置在所述主杆的一端;水路转换组件,所述水路转换组件活动套设在所述籽晶杆上,且可选择的绕所述籽晶杆旋转;其中,所述水路转换组件包括第一通孔和第二通孔,所述第一通孔与进水内管的进水部连通,所述第二通孔与所述出水内管的出水部连通;气体转换组件,所述气体转换组件活动套设在所述籽晶杆上,且可选择的绕所述籽晶杆旋转;其中,所述气体转换组件包括第三通孔,所述第三通孔与所述进气内管的进气部连通。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 一种单晶生长的温度调节装置及系统

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