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【实用新型】制绒后硅片对接单元及系统_上海洪朴信息科技有限公司_202222704035.6 

申请/专利权人:上海洪朴信息科技有限公司

申请日:2022-10-14

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN218647885U

主分类号:H01L21/66

分类号:H01L21/66;H01L21/68;H01L21/673;H01L31/18;H01L21/687

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.17#授权

摘要:本实用新型揭示了一种制绒后硅片对接单元及系统的设计,包括:机械臂、花篮零件体以及滑块模组;所述机械臂设置在所述滑块模组上,所述花篮零件通过所述机械臂在所述滑块模组上活动,对制绒后硅片进行对接。通过所述制绒后硅片对接单元的设计,达到制绒后硅片对接的自动化进行。

主权项:1.一种制绒后硅片对接单元,其特征在于,包括:机械臂、花篮零件体以及滑块模组;所述机械臂设置在所述滑块模组上,所述花篮零件体通过所述机械臂在所述滑块模组上活动,对制绒后硅片进行对接;所述机械臂包括:固定件以及抓取件;所述固定件固定设置在所述滑块模组上,且连接所述抓取件,所述抓取件上设置有抓取部件,所述抓取部件用于抓取所述花篮零件体;所述滑块模组包括:多个承重板、动力装置以及滑块模组连接件;所述多个承重板通过连接件固定,且所述多个承重板之间设置有空隙,所述动力装置设置在多个所述承重板上方,所述机械臂的固定件通过所述滑块模组连接件活动设置在所述承重板上;所述滑块模组连接件可在所述动力装置的驱动下带动所述花篮零件体在所述空隙中活动;所述花篮零件体包括:两侧板以及多个承重杆,所述两侧板上均设置有连接装置,所述花篮零件体通过所述两侧板上的连接装置与所述机械臂配合固定,所述多个承重杆设置在所述两侧板之间,用于放置硅片。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海洪朴信息科技有限公司 制绒后硅片对接单元及系统

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