申请/专利权人：上海新傲科技股份有限公司

申请日：2022-10-20

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN218647898U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;B08B1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶圆自传输系统，包括：机械臂；上料工位和反应腔工位，所述机械臂将所述晶圆自上料工位传输至反应腔工位；还包括清洁工位，用于清洁机械臂。上述技术方案，通过引入清洁工位，在机械臂不需要工作的间隙，自动清洁机械臂，不需要停机即可完成清洁，提高清洁效率，减少机台停机带来的影响。此外，清洁工位引入去静电装置，减少清洁产生的静电，减少颗粒的吸附，更持久地维持机械臂清洁。

主权项：1.一种晶圆自传输系统，包括：机械臂；上料工位和反应腔工位，所述机械臂将所述晶圆自上料工位传输至反应腔工位；其特征在于，还包括：清洁工位，用于清洁机械臂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海新傲科技股份有限公司 晶圆自传输系统

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