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【实用新型】一种晶体生长炉测温调节装置_宁波恒普真空科技股份有限公司_202222801078.6 

申请/专利权人:宁波恒普真空科技股份有限公司

申请日:2022-10-24

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN218642868U

主分类号:C30B23/00

分类号:C30B23/00;C30B29/36

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.17#授权

摘要:本实用新型公开一种晶体生长炉测温调节装置,涉及测温调节装置技术领域,包括框架、炉盖、测温窗口和测温调节装置;框架设置于炉体外部,炉盖的中部设置有贯通孔,测温观察窗设置于炉盖外侧;测温调节装置设置于框架上,测温调节装置用于安装红外测温仪并调整红外测温仪的位置。安装板可以调节相对于固定板的倾斜角度,通过调节安装板的倾斜角可以将红外测温仪调整至与测温通道相对竖直的状态,使得测温视场更大;采用带有吸光层的遮光罩,消除外界光线对红外测温仪测温精度的影响。本装置调节方式为自动调节,无需人工操作,省时省力;配合计算机算法,能够测得腔室内光斑中心的温度,提高温度重复精度,能更好的监控晶体生长过程。

主权项:1.一种晶体生长炉测温调节装置,其特征在于,包括框架、炉盖、测温窗口和测温调节装置;所述框架设置于炉体外部,所述炉盖的中部设置有贯通孔,所述测温窗口设置于所述炉盖外侧且与所述贯通孔同轴;所述测温调节装置设置于所述框架上,所述测温调节装置用于安装红外测温仪并调整所述红外测温仪的位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 宁波恒普真空科技股份有限公司 一种晶体生长炉测温调节装置

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