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【实用新型】等离子体监测装置和等离子体处理装置_三星显示有限公司_202222828560.9 

申请/专利权人:三星显示有限公司

申请日:2022-10-26

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN218647878U

主分类号:H01J37/32

分类号:H01J37/32;G01N21/59;G01N21/77

优先权:["20211027 KR 10-2021-0144264"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.17#授权

摘要:本申请公开一种等离子体监测装置和等离子体处理装置。该等离子体监测装置包括:流量控制部分,包括从等离子体发射的发射光通过其被引入或排出的第一端口以及从等离子体发射的发射光通过其被排出或引入并且具有与第一端口的形状不同的形状的第二端口;透明玻璃窗,延伸到流量控制部分并且使发射光穿过;以及光谱装置,通过光纤光连接到透明玻璃窗并且检测发射光的强度。

主权项:1.一种等离子体监测装置,包括:流量控制部分,包括:第一端口,从等离子体发射的发射光通过所述第一端口被引入或排出;和第二端口,从所述等离子体发射的所述发射光通过所述第二端口被排出或引入,并且所述第二端口具有与所述第一端口的形状不同的形状;透明玻璃窗,连接到所述流量控制部分并使所述发射光穿过;以及光谱装置,通过光纤光连接到所述透明玻璃窗,并且检测所述发射光的辐射强度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星显示有限公司 等离子体监测装置和等离子体处理装置

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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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