申请/专利权人：福建金石能源有限公司

申请日：2022-11-02

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN218647947U

主分类号：H01L31/0236

分类号：H01L31/0236;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权

摘要：本实用新型提供一种带有排风功能的槽式制绒设备，包括若干工艺槽，所述工艺槽设有槽盖，驱动所述槽盖的驱动机构和对槽内气体进行排放的排风装置；所述排风装置包括进气部、控制阀、负压排风管和鲜风进气口；所述进气部和所述负压排风管相连通；所述控制阀与所述负压排风管相连接；所述鲜风进气口设于所述槽盖上；当硅片在工艺槽内制绒后要取出时，该结构新颖合理，采用该结构可以对工艺槽内的酸性或碱性气体先进行排放，防止当槽盖打开时，酸性或碱性气体跑出，影响相邻工艺槽的酸碱度该设计实用性强。

主权项：1.一种带有排风功能的槽式制绒设备，包括若干工艺槽，其特征在于：所述工艺槽设有槽盖，驱动所述槽盖开合的驱动机构和对槽内气体进行排放的排风装置；所述排风装置包括进气部、控制阀、负压排风管和鲜风进气口；所述进气部和所述负压排风管相连通；所述控制阀与所述负压排风管相连接；所述鲜风进气口设于所述槽盖上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建金石能源有限公司 一种带有排风功能的槽式制绒设备

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