申请/专利权人：江苏日久光电股份有限公司

申请日：2022-11-30

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN218642810U

主分类号：C23C14/22

分类号：C23C14/22;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜的供气装置，包括真空室组，包括第一真空室以及第二真空室；混合气体管道，连通有第一分管道和第二分管道，所述第一分管道上设有第一控制阀，所述第二分管道上设有第二控制阀；惰性气体管道；第一管道组，包括用于连通所述第一分管道和第一真空室的第一管道，以及用于连通所述第一管道和惰性气体管道的第二管道，所述第二管道上设有第一管道阀；第二管道组，包括用于连通所述第二分管道和第二真空室的第三管道，用于连通所述第三管道和惰性气体管道的第四管道，所述第四管道上设有第二管道阀。本实用新型的用于真空镀膜的供气装置通过对管道的规划设置，使每个真空室的气体种类的选择相互独立且不会互相干扰。

主权项：1.一种用于真空镀膜的供气装置，其特征在于，包括：真空室组，包括第一真空室以及第二真空室；混合气体管道，用于提供混合气体，所述混合气体管道连通有第一分管道和第二分管道，所述第一分管道上设有第一控制阀，所述第二分管道上设有第二控制阀；惰性气体管道，用于提供惰性气体；第一管道组，包括用于连通所述第一分管道和第一真空室的第一管道，以及用于连通所述第一管道和惰性气体管道的第二管道，所述第二管道上设有第一管道阀；第二管道组，包括用于连通所述第二分管道和第二真空室的第三管道，以及用于连通所述第三管道和惰性气体管道的第四管道，所述第四管道上设有第二管道阀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏日久光电股份有限公司 用于真空镀膜的供气装置

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