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【发明公布】用于沉积压电材料的系统、用于使用所述系统的方法以及用所述系统沉积的材料_QORVO生物技术有限公司_202080101877.3 

申请/专利权人:QORVO生物技术有限公司

申请日:2020-10-22

公开(公告)日:2023-03-21

公开(公告)号:CN115836141A

主分类号:C23C14/35

分类号:C23C14/35

优先权:["20200630 US 63/045,943"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要:公开了一种允许倾斜c轴压电材料结构生长的沉积系统。所述系统集成了各种溅射模块以产生高质量膜,并且被设计成优化吞吐量,使其有助于大容量制造环境。所述系统包括两个或更多个工艺模块,所述两个或更多个工艺模块包括被构造成以倾斜c轴沉积材料的离轴模块和被构造成以法线入射沉积材料的纵向模块;中心晶圆转移单元,所述中心晶圆转移单元包括加载锁、真空室和机器人,所述机器人设置在所述真空室内并且被构造成在所述中心晶圆转移单元与所述两个或更多个工艺模块之间转移晶圆衬底;以及可操作地连接到所述机器人的控制单元。

主权项:1.一种用于将材料沉积到衬底上的系统,所述系统包括:两个或更多个工艺模块,所述两个或更多个工艺模块包括:离轴模块,所述离轴模块被构造成以倾斜c轴沉积材料;和纵向模块,所述纵向模块被构造成以法线入射沉积材料;中心晶圆转移单元,所述中心晶圆转移单元包括加载锁、真空室和设置在所述真空室内并且被构造成在所述中心晶圆转移单元与所述两个或更多个工艺模块之间转移晶圆衬底的机器人;以及控制单元,所述控制单元可操作地连接到所述机器人。

全文数据:

权利要求:

百度查询: QORVO生物技术有限公司 用于沉积压电材料的系统、用于使用所述系统的方法以及用所述系统沉积的材料

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