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【实用新型】晶圆划片装置_西安华芯微半导体有限公司_202223042245.X 

申请/专利权人:西安华芯微半导体有限公司

申请日:2022-11-16

公开(公告)日:2023-03-21

公开(公告)号:CN218677058U

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/677

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.21#授权

摘要:本申请涉及晶圆生产设备技术领域,且公开了晶圆划片装置,包括机壳,所述机壳的内壁固定连接有第一导轨,所述第一导轨通过第一滑块插接安装有第二导轨,所述第二导轨一端底部通过第二滑块安装有第一电动推杆,所述第一电动推杆的输出端固定连接有转动马达,所述转动马达的输出端贯穿第一电动推杆的输出端且固定连接有切割电机,所述切割电机的输出端固定连接有镍基刀片,所述机壳的内壁固定连接有工作箱,所述工作箱的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆。本申请能够将放置板移出机壳,方便操作人员在机壳的外部对晶圆进行更换,进一步提高了操作人员工作的便利性。

主权项:1.晶圆划片装置,包括机壳(1),其特征在于,所述机壳(1)的内壁固定连接有第一导轨(2),所述第一导轨(2)通过第一滑块插接安装有第二导轨(3),所述第二导轨(3)一端底部通过第二滑块安装有第一电动推杆(4),所述第一电动推杆(4)的输出端固定连接有转动马达(5),所述转动马达(5)的输出端贯穿第一电动推杆(4)的输出端且固定连接有切割电机(6),所述切割电机(6)的输出端固定连接有镍基刀片(7),所述机壳(1)的内壁固定连接有工作箱(8),所述工作箱(8)的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆(9),所述工作箱(8)的侧壁固定连接有电机(10),所述电机(10)的输出端贯穿工作箱(8)的侧壁且与螺纹杆(9)固定连接,所述螺纹杆(9)的杆壁螺纹套设有有螺纹筒(11),所述螺纹筒(11)的侧壁固定连接有弯板(12),所述工作箱(8)的侧壁开设有与弯板(12)相互匹配的滑动口(13),所述弯板(12)伸出滑动口(13)的侧壁连接有连接圈(14),所述连接圈(14)的内壁固定连接有承载台(15),所述承载台(15)的上侧壁固定连接有放置板(16)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安华芯微半导体有限公司 晶圆划片装置

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