申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所

申请日：2023-01-03

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN115831858A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要：本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于旋转手指气缸的两个手指上；晶圆夹持机械手对称连接于晶圆夹持支撑件上，以夹持待翻面的晶圆；两晶圆夹持机械手相对的内侧分别具有夹持晶圆边缘的弧形槽。本发明晶圆夹持机械手不接触晶圆的表面，仅仅抵靠晶圆的外侧面，不会对晶圆的正面和背面造成污染、划痕等不洁净的问题；晶圆沿斜面滑动落入晶圆夹持机械手的夹持部位，可避免了晶圆倾斜晃动等问题造成的不确定性。

主权项：1.一种非接触式晶圆翻转装置，其特征在于，包括：旋转手指气缸1，具有至少180°旋转的自由度及手指3相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件4，对称固定于所述旋转手指气缸1的两个手指3上；以及晶圆夹持机械手6，对称连接于所述晶圆夹持支撑件4上，以夹持待翻面的晶圆；两所述晶圆夹持机械手6相对的内侧分别具有夹持所述晶圆边缘的弧形槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 非接触式晶圆翻转装置及翻转方法

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