申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司

申请日：2022-12-15

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN218677113U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权

摘要：本实用新型提供了一种支撑平台，涉及半导体设备制造的技术领域，包括机架和安装于机架的机械手；机架包括：第一支撑平台、第二支撑平台和多个支撑立柱，第一支撑平台设置于第二支撑平台的底部，且第一支撑平台和第二支撑平台之间形成维护区；多个支撑立柱绕维护区的周侧间隔设置；多个支撑立柱两两之间设置有拆卸板，拆卸板可拆卸连接于机架，缓解现有技术中存在的工作人员在进行机械手维护时，通常需要通过吊车等运送工具将机械手从传输平台拆除后，进行驱动器总成的维护，操作流程繁复，现场工作人员劳动强度较大的技术问题，提升了工作效率。

主权项：1.一种支撑平台，其特征在于，包括机架和安装于所述机架的机械手400；所述机架包括：第一支撑平台100、第二支撑平台200和多个支撑立柱300，所述第一支撑平台100设置于所述第二支撑平台200的底部，且所述第一支撑平台100和所述第二支撑平台200之间形成维护区10；多个所述支撑立柱300绕所述维护区10的周侧间隔设置；所述第二支撑平台200设有限位孔220，所述机械手400中控制器总成410沿所述限位孔220安装于所述维护区10内，多个所述支撑立柱300两两之间设置有拆卸板500，所述拆卸板500可拆卸连接于所述机架。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 支撑平台

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD