申请/专利权人：无锡芯启博科技有限公司

申请日：2022-11-17

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN115815152A

主分类号：B07C5/344

分类号：B07C5/344;H01L21/66;B07C5/02;B08B5/02;B08B15/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要：本发明提供一种晶圆检测设备及晶圆检测方法，涉及晶圆检测领域。一种晶圆检测设备，包括操作台，所述操作台的上侧表面固定连接有防护罩，所述操作台上侧表面的右侧固定连接有支架，所述操作台上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板，后侧的所述支撑板的右侧表面转动连接有两个丝杆，两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有移动板，上侧的所述移动板的下侧表面固定连接有喷气壳。本发明通过设置喷气壳和吸气壳，在晶圆进行检测的时候，喷气壳将晶圆表面的灰尘吹下，而吸气壳接着将吹出的灰尘进行吸收，从而避免灰尘会再次落在晶圆的表面或者操作台上，干扰检测结果，保持防护罩内部环境的洁净。

主权项：1.一种晶圆检测设备，包括操作台1，其特征在于：所述操作台1的上侧表面固定连接有防护罩29，所述操作台1上侧表面的右侧固定连接有支架2，所述操作台1上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板3，后侧的所述支撑板3的右侧表面转动连接有两个丝杆4，两个所述丝杆4的杆壁均螺纹连接有移动板5，上侧的所述移动板5的下侧表面固定连接有喷气壳6，下侧的所述移动板5的下侧表面固定连接有吸气壳7，所述吸气壳7的下侧表面和左侧表面与喷气壳6的右侧表面均开设有多个风口8，所述支架2右侧表面的后侧开设有第一空腔，所述第一空腔的内部设置有驱动机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡芯启博科技有限公司 一种晶圆检测设备及晶圆检测方法

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