申请/专利权人：苏州千策机电设备有限公司

申请日：2022-12-20

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN218656866U

主分类号：B23B31/02

分类号：B23B31/02;B23B31/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权

摘要：本实用新型公开了一种CNC高精度膜片卡盘，涉及卡盘技术领域，包括：支撑底板，支撑底板上设有膜片内缩进口和膜片外张进口；定位块，定位块固定于支撑底板的上表面中心处；膜片法兰，膜片法兰固定于支撑底板的上表面，定位块穿过膜片法兰的中心通孔处，定位块和中心通孔之间形成滑动腔体；滑块，滑块将滑动腔体分为上腔体和下腔体，膜片内缩进口和膜片外张进口分别与上腔体和下腔体相连通；膜片主体，膜片主体的材质为形变材质，膜片主体的上表面设有若干个膜片夹持部，膜片通孔的边缘处与滑块固定连接。本实用新型利用流体控制管路控制进入膜片内缩进口和膜片外张进口内的流体流量和流体压力，从而提高膜片主体的控制精度。

主权项：1.一种CNC高精度膜片卡盘，其特征在于，包括：支撑底板，所述支撑底板的下表面用于固定在工作台面上，所述支撑底板上设有膜片内缩进口和膜片外张进口，所述膜片内缩进口和所述膜片外张进口分别连接有一个流体控制管路；定位块，所述定位块固定于所述支撑底板的上表面中心处；膜片法兰，所述膜片法兰固定于所述支撑底板的上表面，所述定位块穿过所述膜片法兰的中心通孔处，所述定位块和所述中心通孔之间形成滑动腔体；滑块，所述滑块滑动连接于所述滑动腔体内，所述滑块将所述滑动腔体分为上腔体和下腔体，所述膜片内缩进口和所述膜片外张进口分别通过膜片内缩管路和膜片外张管路与所述上腔体和所述下腔体相连通；膜片主体，所述膜片主体的材质为形变材质，所述膜片主体的下表面固定于所述膜片法兰上，所述膜片主体的上表面设有若干个膜片夹持部，所述膜片主体的中心设有膜片通孔，所述膜片通孔的边缘处与所述滑块固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州千策机电设备有限公司 一种CNC高精度膜片卡盘

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