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【发明公布】一种支持多尺寸硅片的硅片分选机上料机构及使用方法_宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司_202211498174.6 

申请/专利权人:宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司

申请日:2022-11-28

公开(公告)日:2023-03-21

公开(公告)号:CN115831834A

主分类号:H01L21/677

分类号:H01L21/677;H01L21/67

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要:一种支持多尺寸硅片的硅片分选机上料机构及使用方法,包括料盒装载框架,料盒装载框架侧部设有轨道和料盒推门导向槽板,轨道与滑块配合,滑块与旋转轴固定块连接,旋转轴固定块上可转动地设有旋转轴;料盒装载框架通过旋转轴与推门结构板可拆卸地连接,推门结构板与推片结构板可拆卸地连接,推片结构板与硅片推板连接,硅片推板边缘设有软材质硅片推块;料盒装载框架包括上顶板和下底板,上顶板和下底板上设有侧挡板可调节腰孔,侧挡板可调节腰孔通过调节螺丝与侧挡板连接,侧挡板通过调节螺丝与前挡板连接,前挡板上设有前挡板可调节腰孔。本发明可以实现方便操作人员检测硅片,并实现多尺寸硅片上料的随意切换。

主权项:1.一种支持多尺寸硅片的硅片分选机上料机构,其特征在于:包括料盒装载框架(1),料盒装载框架(1)内设置有多层用于放置料盒的隔板,料盒装载框架(1)侧部设有轨道(14)和料盒推门导向槽板(23),轨道(14)与滑块(22)配合,滑块(22)与旋转轴固定块(15)连接,旋转轴固定块(15)上可转动地设有旋转轴(13);料盒推门导向槽板(23)上设有U型导向槽(3),旋转轴(13)上下两端通过导向惰轮(7)与U型导向槽(3)配合;料盒装载框架(1)通过旋转轴(13)与推门结构板(11)可拆卸地连接,推门结构板(11)与推片结构板(21)可拆卸地连接,推片结构板(21)与硅片推板(8)连接,硅片推板(8)边缘设有软材质硅片推块(9);料盒装载框架(1)包括上顶板和下底板,上顶板和下底板上设有侧挡板可调节腰孔(18),侧挡板可调节腰孔(18)通过调节螺丝与侧挡板(24)连接,侧挡板(24)通过调节螺丝与前挡板(20)连接,前挡板(20)上设有前挡板可调节腰孔(19)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司 一种支持多尺寸硅片的硅片分选机上料机构及使用方法

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