申请/专利权人:中国原子能科学研究院
申请日:2022-12-01
公开(公告)日:2023-03-21
公开(公告)号:CN115831706A
主分类号:H01J49/14
分类号:H01J49/14;B01D59/38
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开
摘要:本申请的实施例提供一种离子源,包括:气化机构,用于将固态原料气化形成饱和蒸汽;分配机构,设置有至少一个气体入口和多个气体出口,气体入口与气化机构连接;多个等离子体生成机构,分别与气体出口连接,以接收来自气化机构的饱和蒸汽,等离子体生成机构形成有放电腔,饱和蒸汽能够在放电腔中电离形成等离子体;电子发射机构,电子发射机构能够向放电腔中发射电子,以使放电腔中的饱和蒸汽发生电离;以及引出机构,引出机构能够对放电腔中形成的等离子体施加电场,以将等离子体引出放电腔并形成离子束流。
主权项:1.一种离子源,用于提供离子束流,包括:气化机构,用于将固态原料气化形成饱和蒸汽;分配机构,设置有至少一个气体入口和多个气体出口,所述气体入口与所述气化机构连接;多个等离子体生成机构,分别与所述气体出口连接,以接收来自所述气化机构的饱和蒸汽,所述等离子体生成机构形成有放电腔,饱和蒸汽能够在所述放电腔中电离形成等离子体;电子发射机构,所述电子发射机构能够向所述放电腔中发射电子,以使所述放电腔中的饱和蒸汽发生电离;以及引出机构,所述引出机构能够对所述放电腔中形成的等离子体施加电场,以将所述等离子体引出所述放电腔并形成离子束流。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国原子能科学研究院 离子源
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