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【实用新型】一种新型真空设备用传动系统_上海子创镀膜技术有限公司_202222884511.7 

申请/专利权人:上海子创镀膜技术有限公司

申请日:2022-10-31

公开(公告)日:2023-03-21

公开(公告)号:CN218666278U

主分类号:C23C14/56

分类号:C23C14/56

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.21#授权

摘要:本实用新型涉及大型卧式连续真空镀膜设备、真空传动系统设计、镀膜技术领域,公开了一种新型真空设备用传动系统,包括真空腔体,所述真空腔体的内部等距交错依次设置有多个阴极单元传动机构、分子泵单元传动机构和主传动机构;所述阴极单元传动机构包括轴承座一,同侧所述轴承座一上均转动连接有传动轴一,所述传动轴一靠近真空腔体的中部一侧上均固定连接有同步带轮一。本实用新型中,通过在每个传动机构上设置的涨紧轮装置,便于工作人员对每个传动机构上同步皮带的松紧进行调整,提高传动机构对基板传输镀膜时的稳定性和镀膜产品质量,同时也便于同步皮带在发生损坏的时候对各个传动机构上的同步皮带进行更换。

主权项:1.一种新型真空设备用传动系统,包括真空腔体1,其特征在于:所述真空腔体1的内部等距交错依次设置有多个阴极单元传动机构2、分子泵单元传动机构3和主传动机构4;所述阴极单元传动机构2包括轴承座一203,同侧所述轴承座一203上均转动连接有传动轴一206,所述传动轴一206靠近真空腔体1的中部一侧上均固定连接有同步带轮一207,同侧所述同步带轮一207均通过同步皮带一208相连接,所述同步皮带一208的内侧中部均设置有涨紧轮装置一209,所述传动轴一206远离真空腔体1内壁的一端上均设置有联轴器一205,两侧所述联轴器一205与同侧的传动辊一201的一端中部固定连接,中间所述联轴器一205与传动辊二202的一端中部固定连接,所述传动辊一201和传动辊二202远离联轴器一205的一端上均设置有绝缘套一204,所述轴承座一203的底端均设置有绝缘垫一210。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海子创镀膜技术有限公司 一种新型真空设备用传动系统

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