申请/专利权人：上海凯来仪器有限公司

申请日：2022-11-02

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN218657326U

主分类号：B23K26/36

分类号：B23K26/36;B23K26/064

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权

摘要：本实用新型公开了一种多焦点的激光剥蚀系统，包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块；所述激光光源用于发射剥蚀激光束；所述多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束沿纵向聚焦在样品表面及内部；所述样品台用于盛放样品；所述检测模块用于接收剥蚀激光束剥蚀样品所得的混合物并且对其进行检测。本实用新型通过采用多焦点聚焦模块，使激光形成多个焦点，可以同时对样品多个位置进行剥蚀，而且对于剥蚀深度需求较大时，在样品纵向剥蚀的效率是一样的，更有利于后端的元素含量分析。

主权项：1.一种多焦点的激光剥蚀系统，其特征在于，包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块；所述激光光源用于发射剥蚀激光束；所述多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束沿纵向聚焦在样品表面及内部；所述样品台用于盛放样品；所述检测模块用于接收剥蚀激光束剥蚀样品所得的混合物并且对其进行检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海凯来仪器有限公司 一种多焦点的激光剥蚀系统

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