申请/专利权人：河南通用智能装备有限公司

申请日：2022-01-28

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN218660452U

主分类号：B29C63/02

分类号：B29C63/02;B29C69/00;B26D1/15;B26D7/26;B29C63/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权

摘要：本实用新型公开了一种全自动晶圆覆膜机，包括：机台架、复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统、晶圆贴膜系统、多功能机器人系统和供料系统，所述复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统设置在机台架的纵向侧壁上，晶圆贴膜系统设置在机台架的水平架上，并处于复合膜放膜系统和收余料系统之间，多功能机器人系统包括六轴机械臂和固定在六轴机械臂上的多功能机械手，通过转到六轴机械臂，多功能机械手将晶圆由供料系统运送到晶圆贴膜系统，并对贴完PE膜的晶圆进行切割。

主权项：1.全自动晶圆覆膜机，包括：机台架、复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统、晶圆贴膜系统、多功能机器人系统和供料系统，其特征在于，所述复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统设置在机台架的纵向侧壁上，晶圆贴膜系统设置在机台架的水平架上，并处于复合膜放膜系统和收余料系统之间，多功能机器人系统包括六轴机械臂和固定在六轴机械臂上的多功能机械手，通过转动六轴机械臂，多功能机械手将晶圆由供料系统运送到晶圆贴膜系统，并对贴完PE膜的晶圆进行切割。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南通用智能装备有限公司 全自动晶圆覆膜机

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