买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明授权】一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置_武汉上谱分析科技有限责任公司_202010766686.0 

申请/专利权人:武汉上谱分析科技有限责任公司

申请日:2020-08-03

公开(公告)日:2023-04-18

公开(公告)号:CN111896527B

主分类号:G01N21/73

分类号:G01N21/73;G01N27/62;B23K26/70;H01J49/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.04.18#授权;2020.11.24#实质审查的生效;2020.11.06#公开

摘要:本发明提供了一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置,包括样品台、激光头以及剥蚀池,剥蚀池通过连接杆固定于激光头的正下方,剥蚀池为中空的结构,剥蚀池顶部开口处密封安装有供激光穿过的透明窗,其内部腔室由隔环分为内外两层,内层为剥蚀腔,外层为真空腔,剥蚀腔的两侧分别设置有进气管和出气管,真空腔的侧壁上设置有抽真空口并与真空发生器相连接;所述样品台安装于三轴位移平台上,样品台为双层板式结构。该多靶位剥蚀装置不仅具备多个靶位,且各靶位之间切换方便,同时利用真空实现对剥蚀池的密封,能够保证剥蚀池整体的密封性。最重要的是,该多靶位剥蚀装置能够克服激光微区原位测试中空间位置效应。

主权项:1.一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置,至少包括样品台、激光头以及剥蚀池,激光头安装于激光发生器上,其特征在于:所述剥蚀池通过连接杆固定于激光头的正下方,所述剥蚀池为中空的结构,剥蚀池的顶部和底部均呈敞开式,其中顶部开口处密封安装有供激光穿过的透明窗,其内部腔室由隔环分为内外两层,内层为剥蚀腔,外层为真空腔,其中剥蚀腔的两侧分别设置有进气管和出气管,进气管和出气管均穿过真空腔通向外界,真空腔的侧壁上设置有抽真空口,抽真空口与真空发生器相连接;剥蚀池的底部整体平整,且剥蚀池中池壁的底面和隔环的底面上均设置有环形密封圈;所述样品台安装于三轴位移平台上,样品台为双层板式结构,其中上层板和下层板之间通过滑轨和滑块连接且上层板和下层板之间可相对平移,所述下层板通过螺栓固定于三轴位移平台上,下层板上设置有用于将滑轨和滑块进行锁死的锁紧装置;上层板的顶面为平整光滑的平面,且上层板的顶面上分布有一个以上的分别用于放置不同规格靶样的凹槽,凹槽的内壁上设置有环形密封圈。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉上谱分析科技有限责任公司 一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。