申请/专利权人:山东省地质矿产勘查开发局第一地质大队(山东省第一地质矿产勘查院)
申请日:2022-10-08
公开(公告)日:2023-05-05
公开(公告)号:CN116072505A
主分类号:H01J49/04
分类号:H01J49/04;G01N27/626
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.11.03#实质审查的生效;2023.05.05#公开
摘要:本发明涉及剥蚀检测技术领域,本发明公开了一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,包括开放式样品采集机构以及与所述开放式样品采集机构连通的氦气输送机构,所述开放式样品采集机构包括外壳、中管、内管,所述内管与所述中管之间远离所述氯化钙玻璃的一端固定连接有调节所述氦气输送机构的出风风向的风向调节机构;针对剥蚀点周侧形状特征进行封闭,此时氦气输送机构将氦气通过通气环输送至固定V形环、风向切换V形环出分散的屏蔽气和聚拢气发生分散,当接触伸缩杆处于收缩状态时,此时封闭层内部空间过小,因此需要缩小屏蔽气与聚拢气的夹角,使聚拢气不会直接作用在剥蚀点上,同时屏蔽气可以作用在边缘处起到屏蔽作用,保证检测精度。
主权项:1.一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,包括开放式样品采集机构(1)以及与所述开放式样品采集机构(1)连通的氦气输送机构(100)、气体交换装置(300),所述气体交换装置(300)一端连通有薄膜泵(400),其特征在于:所述开放式样品采集机构(1)包括外壳(11)、中管(12)、内管(13),所述外壳(11)、所述中管(12)、所述内管(13)顶部通过氯化钙玻璃(14)固定连接,所述内管(13)与所述中管(12)之间远离所述氯化钙玻璃(14)的一端固定连接有调节所述氦气输送机构(100)的出风风向的风向调节机构(6),所述开放式样品采集机构(1)的外部滑动连接有调节所述风向调节机构(6)分散角度的隔离气角度调节组件(2),所述开放式样品采集机构(1)的底部转动连接有若干个环形等距分布的接触伸缩杆(5),所述接触伸缩杆(5)的底部通过压块(52)固定连接有贴附橡胶环(53),所述压块(52)与所述接触伸缩杆(5)转动连接,所述接触伸缩杆(5)的外壁通过封闭层(4)封闭,所述封闭层(4)一侧设置有氦气回收机构(200),所述开放式样品采集机构(1)的外部滑动连接有调节所述接触伸缩杆(5)角度的贴附隔离调节组件(3)。
全文数据:
权利要求:
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