申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所

申请日：2023-03-07

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116149145A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B26/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本发明提供一种光刻投影物镜三叶、四叶像差变形镜机构，包括镜片1、镜框2、镜筒3及圆周均布的12个变形镜致动机构4。变形镜致动机构4包括压块5、V型块6、电机7、推杆8、钢球9、弹簧片10、楔形块11、弹性支撑12。镜片1通过压块5与弹性支撑12固定。变形镜致动机构4均布安装于镜框2上。镜框2安装于镜筒3上。电机7驱动推杆8、钢球9水平方向运动，V型块6与楔形块11上的导轨为钢球9提供导向，钢球9带动楔形块11运动，楔形块11带动弹簧片10发生铅锤方向弹性变形，并带动弹性支撑12作铅锤方向运动，以调节弹性支撑12上的支撑力，弹簧片10用于结构复位。通过12个变形镜致动机构4支撑力大小差动调节，实现镜片1三叶、四叶像差变形补偿。

主权项：1.一种光刻投影物镜三叶、四叶像差变形镜机构，其特征在于：包括镜片1、镜框2、镜筒3及变形镜致动机构4，镜框2安装于镜筒3上，变形镜致动机构4沿圆周均布12个，安装于镜框2上；变形镜致动机构4可实现对镜片1的固定，并可驱动镜片1发生弹性变形，实现光刻投影物镜三叶、四叶像差补偿。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院光电技术研究所 一种光刻投影物镜三叶、四叶像差变形镜机构

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