申请/专利权人：苏州明皜传感科技股份有限公司

申请日：2021-10-27

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116147600A

主分类号：G01C19/5712

分类号：G01C19/5712

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：一种微机电多轴角速度感测器，包括一基板和一微机电晶圆层平行相对设置，以及多个固定锚将该微机电晶圆层连接以固定至该基板上。该微机电晶圆层包括至少二驱动及感测结构、一第三驱动环以及二个摆动质量块。每一驱动及感测结构包括一驱动环、多个驱动电梳对结构及多个感测验证质量块，该多个驱动电梳对结构和该多个感测验证质量块分别连接该对应的驱动环。第三驱动环设置于该二驱动环之间并连接该二驱动环，其中，在一驱动模态时，该多个驱动电梳对结构驱动对应的该驱动环进行周期性旋转运动，并且该二驱动环带动该第三驱动环进行周期性旋转运动。二个摆动质量块分别连接该第三驱动环并位于该第三驱动环外相对二侧。

主权项：1.一种微机电多轴角速度感测器，包括一基板和一微机电晶圆层平行相对设置，以及多个固定锚将该微机电晶圆层连接以固定至该基板上，其特征在于，该微机电晶圆层包括:一第一驱动及感测结构，其包括一第一驱动环、多个第一驱动电梳对结构及多个第一感测验证质量块，该多个第一驱动电梳对结构和该多个第一感测验证质量块分别连接该第一驱动环；一第二驱动及感测结构，其包括一第二驱动环、多个第二驱动电梳对结构及多个第二感测验证质量块，该多个第二驱动电梳对结构和该多个第二感测验证质量块分别连接该第二驱动环；一第三驱动环设置于该第一驱动环和该第二驱动环之间并连接该第一驱动环和该第二驱动环，其中，在一驱动模态时，该多个第一驱动电梳对结构驱动该第一驱动环进行周期性旋转运动，该多个第二驱动电梳对结构驱动该第二驱动环进行周期性旋转运动，并且该第一驱动环和该第二驱动环带动该第三驱动环进行周期性旋转运动；以及二个摆动质量块分别连接该第三驱动环并位于该第三驱动环外相对二侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州明皜传感科技股份有限公司 微机电多轴角速度感测器

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