申请/专利权人:歌尔股份有限公司
申请日:2021-11-23
公开(公告)日:2023-05-23
公开(公告)号:CN116149131A
主分类号:G03F7/00
分类号:G03F7/00
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2023.05.23#公开
摘要:本发明公开了一种压印设备,包括:底座,所述底座上设置有载盘,所述载盘被配置为用于承载基板,所述底座上位于所述载盘的四周处设置有多个可升高或降低的离膜柱;软膜承载装置,所述软膜被配置为用于固定所述软膜,所述软膜承载装置的侧边分别连接于多个所述离膜柱上;流体膨胀装置,所述流体膨胀装置位于所述载盘的上方,所述流体膨胀装置内未通入流体时,所述流体膨胀装置处于收缩状态,所述流体膨胀装置内通入流体后,所述流体膨胀装置处于膨胀状态并向所述基板方向挤压所述软膜;固化灯,所述固化灯设置于所述流体膨胀装置周侧,所述固化灯朝向所述载盘方向照射。
主权项:1.一种压印设备,其特征在于,包括:底座,所述底座上设置有载盘,所述载盘被配置为用于承载基板,所述底座上位于所述载盘的四周处设置有多个可升高或降低的离膜柱;软膜承载装置,所述软膜承载装置被配置为用于固定所述软膜,所述软膜承载装置的侧边分别连接于多个所述离膜柱上;流体膨胀装置,所述流体膨胀装置位于所述载盘的上方,所述流体膨胀装置内未通入流体时,所述流体膨胀装置处于收缩状态,所述流体膨胀装置内通入流体后,所述流体膨胀装置处于膨胀状态并向所述基板方向挤压所述软膜。
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