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【发明公布】一种用于陶瓷件的扩膜机_苏州新米特电子科技有限公司_202211030683.6 

申请/专利权人:苏州新米特电子科技有限公司

申请日:2022-08-26

公开(公告)日:2023-05-23

公开(公告)号:CN116153603A

主分类号:H01C17/02

分类号:H01C17/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要:本申请公开了一种用于陶瓷件的扩膜机,涉及半导体陶瓷件生产设备领域,其包括机体、工作台、上基座、下基座以及用于控制上基座和下基座相对运动的电控模块,所述下基座包括相对工作平台升降的中心基座和多个基座环,多个所述基座环同轴并依次绕设于中心基座外侧,所述下基座的最大直径不大于上基座的直径;所述机体上还升降设置有用于在下基座外侧压紧蓝膜的压圈,所述压圈、上基座和中心基座均呈同轴布设,所述压圈内侧设置有用于可拆卸固定不同规格的切割铁环的固定装置。工作人员能够根据待扩膜的陶瓷件的数量面积规格相应地调整下基座的整体面积,提高单台扩膜机对不同数量面积规格的陶瓷件的适应性,均匀扩膜并提高扩膜效率。

主权项:1.一种用于陶瓷件的扩膜机,包括机体(1)、设于机体(1)上的工作台(2)、分别设于机体(1)和工作台(2)上的圆盘状的上基座(3)和下基座(4)以及用于控制上基座(3)和下基座(4)相对运动的电控模块,其特征在于:所述下基座(4)包括相对工作平台升降的中心基座(41)和多个基座环(42),多个所述基座环(42)同轴并依次绕设于中心基座(41)外侧;所述机体(1)上还升降设置有用于在下基座(4)外侧压紧蓝膜的压圈(5),所述压圈(5)、上基座(3)和中心基座(41)均呈同轴布设,且所述压圈(5)内侧设置有用于可拆卸固定不同规格的切割铁环的固定装置(6)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州新米特电子科技有限公司 一种用于陶瓷件的扩膜机

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