申请/专利权人：固安翌光科技有限公司

申请日：2023-02-28

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116145087A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本发明公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：设置有蒸镀气体出口的蒸镀源存储装置；蒸镀气流导向装置包括导向通道；蒸镀气体出口的所在平面和待蒸镀基板的所在平面的高度差为第一距离，蒸镀气体出口的中心在待蒸镀基板的所在平面的正投影点和待蒸镀基板的中心之间的距离为第二距离；导向通道中的蒸镀气体的气流方向和蒸镀气体出口的所在平面的夹角大于等于第一距离和第二距离比值的反正切函数值，小于等于预设角度，预设角度的补角为第一距离与第三距离比值的反正切函数值，第三距离等于待蒸镀基板的中心到边缘的距离与第二距离的差值，第二距离和第三距离在同一直线，且位于待蒸镀基板的中心的同一侧。上述技术方案提高了蒸镀材料的利用率。

主权项：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀源存储装置，所述蒸镀源存储装置设置有蒸镀气体出口；蒸镀气流导向装置，所述蒸镀气流导向装置设置于所述蒸镀气体出口处，所述蒸镀气流导向装置包括至少一个导向通道，所述蒸镀源存储装置内放置有蒸镀材料，所述蒸镀材料在热场下蒸发产生蒸镀气体，所述蒸镀气体从所述蒸镀气体出口途经所述导向通道到达待蒸镀基板的预设蒸镀区域；所述蒸镀气体出口的所在平面和所述待蒸镀基板的所在平面平行设置，所述蒸镀气体出口的所在平面和所述待蒸镀基板的所在平面的高度差为第一距离，所述蒸镀气体出口的中心在所述待蒸镀基板的所在平面的正投影点和所述待蒸镀基板的中心之间的距离为第二距离；所述导向通道中的蒸镀气体的气流方向和所述蒸镀气体出口的所在平面的夹角大于或等于所述第一距离和所述第二距离比值的反正切函数值，小于或等于预设角度，所述预设角度的补角为所述第一距离与第三距离比值的反正切函数值，所述第三距离等于所述待蒸镀基板的中心到边缘的距离与所述第二距离的差值，所述第二距离和所述第三距离在同一直线，且位于所述待蒸镀基板的中心的同一侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 固安翌光科技有限公司 一种蒸镀装置

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