申请/专利权人:深圳铭创智能装备有限公司
申请日:2023-03-09
公开(公告)日:2023-05-23
公开(公告)号:CN116140816A
主分类号:B23K26/362
分类号:B23K26/362;B08B7/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开
摘要:本申请涉及一种激光3D蚀刻清洗设备,其中,激光器所发出的激光经扫描振镜的偏摆而改变照射方向,从而激光可经第一反射镜反射后照射至第一表面、或可直接照射至第二表面、或可经第二反射镜反射后照射至第三表面,且当扫描振镜在既定角度范围内偏摆时能够维持激光照射于待清洗工件的单一表面并对其进行清洗,而在扫描振镜偏摆超出既定角度范围后,即可改变激光的照射方向至待清洗工件的其他表面而对其他表面进行清洗。如此,在第一反射镜与第二反射镜的配合下,仅通过扫描振镜的偏摆即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗,无需改变待清洗工件的姿态,清洗操作简单易行,清洗效率较高,同时设备成本较低。
主权项:1.一种激光3D蚀刻清洗设备,用于对待清洗工件顺次连接的第一表面、第二表面及第三表面进行扫描清洗,其特征在于,激光3D蚀刻清洗设备包括:激光器,用于发射激光;清洗镜组,包括扫描振镜、第一反射镜及第二反射镜,所述扫描振镜设置于所述激光的传导路径上并位于所述第二表面的一侧,所述第一反射镜位于所述第一表面一侧,所述第二反射镜位于所述第三表面一侧;所述扫描振镜能够摆动以使所述激光照射至所述第一反射镜或所述第二表面或所述第二反射镜,所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第一反射镜并经所述第一反射镜反射至所述第一表面的激光对所述第一表面进行清洗,所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二表面的激光对所述第二表面进行清洗,所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二反射镜并经所述第二反射镜反射至所述第三表面的激光对所述第三表面进行清洗。
全文数据:
权利要求:
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