申请/专利权人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日:2023-02-27
公开(公告)日:2023-05-23
公开(公告)号:CN116153802A
主分类号:H01L21/66
分类号:H01L21/66
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开
摘要:本发明提供一种测试结构及其测试方法,测试结构包括依次堆叠设置的第一极板结构、介质层和第二极板结构,第一极板结构包括第一绝缘层以及嵌设在第一绝缘层中的第一电极层,介质层包括第一部分以及环设在第一部分外侧的第二部分,第二极板结构包括第二电极层,第一电极层和第二电极层正对设置,第一部分位于第一电极层和第二电极层之间,在第一电极层侧,第一绝缘层覆盖第二部分,第一绝缘层中形成有多个释放孔,所有释放孔间隔环绕在第一部分外侧,测试结构在牺牲层释放空腔结构工艺前后能够通过测试机台自动量测并获得牺牲层的侧掏距离,从而提高了侧掏距离的量测精度和测试效率,节省了测试时间和人力成本。
主权项:1.一种测试结构,能够在牺牲层释放空腔结构工艺前后通过测试机台进行自动量测,其特征在于,所述测试结构包括由下至上依次堆叠设置的第一极板结构、介质层和第二极板结构,所述第一极板结构包括第一绝缘层以及嵌设在所述第一绝缘层中的第一电极层,所述介质层包括第一部分以及环设在所述第一部分外侧的第二部分,所述第二极板结构包括第二电极层,所述第一电极层和第二电极层正对设置,所述第一部分位于所述第一电极层和第二电极层之间,在所述第一电极层侧,所述第一绝缘层覆盖所述第二部分,且所述第一绝缘层中形成有多个释放孔,所有所述释放孔间隔环绕在所述第一部分的外侧。
全文数据:
权利要求:
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