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【发明公布】芯片封装结构的透气封装盖及其制造方法_财团法人工业技术研究院_202210014687.9 

申请/专利权人:财团法人工业技术研究院

申请日:2022-01-07

公开(公告)日:2023-05-23

公开(公告)号:CN116153866A

主分类号:H01L23/04

分类号:H01L23/04;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/52;H01L21/56;G01N27/00

优先权:["20211122 TW 110143324"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要:本发明提供一种芯片封装结构的透气封装盖及其制造方法。芯片封装结构的透气封装盖包括一盖本体、一通孔与一疏水透气膜。盖本体是一体成型。通孔贯穿盖本体。疏水透气膜与盖本体结合,并遮蔽通孔。部分的疏水透气膜埋设于盖本体内。

主权项:1.一种芯片封装结构的透气封装盖,应用于芯片封装结构,其特征在于,该芯片封装结构的透气封装盖包括:盖本体,为一体成型;通孔,贯穿该盖本体;及疏水透气膜,与该盖本体结合,并遮蔽该通孔,其中部分的该疏水透气膜埋设于该盖本体内。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 财团法人工业技术研究院 芯片封装结构的透气封装盖及其制造方法

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