申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2022-09-08

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116141119A

主分类号：B24B9/02

分类号：B24B9/02;B24B41/02;B24B47/22;B24B47/12;B24B41/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本申请涉及半导体集成电路领域，具体涉及一种静电吸盘打磨装置。静电吸盘打磨装置包括：旋转连杆、打磨杆、调节轴套和固定支架；固定支架设于旋转连杆上，且旋转连杆能够以旋转连杆的延伸方向为旋转轴相对于该固定支架旋转；打磨杆的连接端铰接旋转连杆的下端，打磨杆的连接端能够相对于旋转连杆在铰接处转动以改变打磨杆与旋转连杆之间的夹角；打磨杆打磨端设有打磨片；旋转连杆上还形成有螺纹区，螺纹区位于铰接处之上，螺纹区包括上止位和下止位；调节轴套螺接在螺纹区上，且调节轴套与打磨杆相连；在调节轴套移动时，调节轴套能够带动打磨杆相对于旋转连杆在铰接处转动以调节打磨杆与旋转连杆之间的夹角。

主权项：1.一种静电吸盘打磨装置，其特征在于，所述静电吸盘打磨装置包括：旋转连杆、打磨杆、调节轴套和固定支架；所述固定支架设于所述旋转连杆上，且所述旋转连杆能够以所述旋转连杆的延伸方向为旋转轴相对于该固定支架旋转；所述打磨杆的连接端铰接所述旋转连杆的下端，所述打磨杆的连接端能够相对于所述旋转连杆在铰接处转动以改变所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角；所述打磨杆打磨端设有打磨片；所述旋转连杆上还形成有螺纹区，所述螺纹区位于所述铰接处之上，所述螺纹区包括上止位和下止位；所述调节轴套螺接在所述螺纹区上，且所述调节轴套与所述打磨杆相连；所述调节轴套能够沿着所述螺纹区在所述上止位和所述下止位之间移动，在所述调节轴套移动时，所述调节轴套能够带动所述打磨杆相对于旋转连杆在铰接处转动以调节所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 静电吸盘打磨装置

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