申请/专利权人：西安电子科技大学

申请日：2022-12-01

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116153705A

主分类号：H01H35/26

分类号：H01H35/26;H01H35/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：一种基于压电陶瓷薄膜的液滴微机电系统火工品作动装置，包括封装为一体下基板、中间基板、上基板；上基板的上表面对称设有第一、第二压电陶瓷薄膜，下表面设有第一、第二背腔；中间基板上设有变截面微流道，变截面微流道包括宽截面和窄截面，宽截面位于第一、第二背腔的正下方，宽截面内装有水银液滴，窄截面内设有隔爆滑块，隔爆滑块两侧的第一、第二空腔内设有第一、第二止动片；下基板上设有压力平衡槽；上基板上设有上导爆孔，下基板上设有下导爆孔；本发明降低作动装置的作动时间，降低火工品引发后的冲击加速度，增加MEMS火工品作动装置抗外界加速度信号干扰的能力；结合MEMS工艺，减小作动装置体积和成本。

主权项：1.一种基于压电陶瓷薄膜的液滴微机电系统火工品作动装置，包括封装为一体下基板1、中间基板2、上基板3；所述上基板3的上表面对称设有第一压电陶瓷薄膜13、第二压电陶瓷薄膜14，第一压电陶瓷薄膜13和第一对金属焊盘15连接，第二压电陶瓷薄膜14和第二对金属焊盘16连接；上基板3的下表面设有对应于第一压电陶瓷薄膜13、第二压电陶瓷薄膜14的第一背腔17、第二背腔18；所述中间基板2上设有对应于第一背腔17、第二背腔18的变截面微流道7，变截面微流道7的第一宽截面71、第二宽截面72分别位于第一背腔17、第二背腔18的正下方，第一宽截面71、第二宽截面72内分别装有第一水银液滴11、第二水银液滴10；变截面微通道7的窄截面73内设有隔爆滑块4，隔爆滑块4两侧的第一空腔41、第二空腔42内设有第一止动片8、第二止动片9；所述下基板1上设有压力平衡槽5，压力平衡槽5两端分别位于第一宽截面71、第二宽截面72的正下方；所述上基板3上设有上导爆孔12，下基板1上设有下导爆孔6，上导爆孔12与下导爆孔6在竖直方向上位置对应。

全文数据：

权利要求：

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