申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2017-09-29

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN113433802B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F7/22;G01B11/00;G01B11/27;G01D5/38;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68

优先权：["20160930 JP 2016-195149"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.23#授权;2021.10.15#实质审查的生效;2021.09.24#公开

摘要：本发明的移动基板P的移动体装置，具备：保持基板P可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具32、可往Y轴方向移动的Y粗动载台24、通过设在基板保持具32的读头74x、74y与设在Y粗动载台24的标尺72取得基板保持具32的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台24的读头80x、80y与标尺78取得Y粗动载台24的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具32的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头74x、74y相对标尺72往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头80x、80y相对标尺78往Y轴方向移动一边照射测量光束。

主权项：1.一种曝光装置，其经由光学系统对物体照射照明光，扫描曝光所述物体，其具备：支承构件，支承所述光学系统；第1移动体，保持所述物体；第2移动体，其设在所述第1移动体的下方；第1驱动部，其使所述第1移动体相对于所述第2移动体朝向第1方向相对移动；第2驱动部，其使所述第2移动体朝向与所述第1方向交叉的第2方向移动，且使所述第1移动体朝向所述第2方向移动；第3移动体，其与所述第2移动体连结，且设在所述支承构件与所述第1移动体之间；第1测量系统，通过设在所述第1移动体及第2移动体中的一方的第1读头、与设在所述第1移动体及第2移动体中的另一方的第1格子区域，来取得通过所述第1驱动部而朝向所述第1方向移动的所述第1移动体相对于所述第2移动体的位置信息，所述第1格子区域具有所述第1方向及第2方向的测量成分而能测量所述第1移动体于所述第1方向的移动范围；第2测量系统，通过设在所述第3移动体及所述支承构件中的一方的第2读头、与设在所述第3移动体及所述支承构件中的另一方的第2格子区域，来取得通过所述第2驱动部而朝向所述第2方向移动的所述第2移动体相对于所述支承构件的位置信息，所述第2格子区域具有所述第1方向及第2方向的测量成分而能测量所述第2移动体于所述第2方向的移动范围；以及控制系统，根据通过所述第1测量系统及第2测量系统取得的位置信息，控制相对于所述支承构件的所述第1方向及第2方向的所述第1移动体的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

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