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【发明授权】蒸镀装置及蒸发源_佳能特机株式会社_202110416162.3 

申请/专利权人:佳能特机株式会社

申请日:2017-07-05

公开(公告)日:2023-05-23

公开(公告)号:CN113151787B

主分类号:C23C14/24

分类号:C23C14/24

优先权:["20160705 JP 2016-133684"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.05.23#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要:本发明提供一种蒸发粒子的入射角大、能够实现均匀的膜厚分布、且不容易受到蒸发率变动影响的蒸镀装置及蒸发源。蒸镀装置具备蒸发源,所述蒸发源具有收容成膜材料的容器1和沿着容器的长边方向设置的多个蒸发口部2a、2b,其中,多个蒸发口部中的设置于外侧的至少一对外侧蒸发口部2a分别具有以朝向容器的长边方向外侧的方式倾斜的开口端面,至少一个所述外侧蒸发口部被设定为膜厚分布调整用外侧蒸发口部2a,该膜厚分布调整用外侧蒸发口部2a被构成为始自开口端面的中心的法线指向基板3的成膜有效范围的外侧,且从外侧蒸发口部2a的开口端面放出的成膜材料最厚地成膜的最大成膜点X位于基板的成膜有效范围的外侧。

主权项:1.一种蒸镀装置,其具备收容成膜材料的容器和沿着所述容器的长边方向设置的多个蒸发口部,所述蒸镀装置通过一边使所述容器以及所述多个蒸发口部相对于基板相对地沿与所述长边方向交叉的交叉方向移动,一边从所述多个蒸发口部放出所述成膜材料而在所述基板的包括成膜有效范围在内的面上形成蒸镀膜,所述蒸镀装置的特征在于,所述多个蒸发口部被设置成在所述长边方向上被包含在所述成膜有效范围内,所述多个蒸发口部中的在所述长边方向上配置在所述容器的中央与所述长边方向上的所述容器的一端之间的第一蒸发口部朝向所述一端倾斜,所述第一蒸发口部的开口端面以与所述中央侧相比所述一端侧低的方式倾斜,所述第一蒸发口部包括在所述长边方向上最靠近所述一端的位置上设置的蒸发口部,始自所述第一蒸发口部的所述开口端面的中心的法线在所述长边方向上指向所述成膜有效范围的外侧,从所述第一蒸发口部放出的成膜材料在所述面上最厚地成膜的最大成膜点在所述长边方向上位于所述成膜有效范围的外侧,并且位于比所述面和所述法线的交点靠近所述成膜有效范围的位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 佳能特机株式会社 蒸镀装置及蒸发源

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