申请/专利权人：奇景光电股份有限公司

申请日：2019-02-25

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN111613548B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.23#授权;2020.09.25#实质审查的生效;2020.09.01#公开

摘要：一种晶圆吹干设备包含载座、承载架以及吹气装置。承载架可移动地设置在载座上。承载架配置成承载晶圆。承载架包含第一承载部以及第二承载部。第一承载部上设有复数个第一夹块。第二承载部与第一承载部互相并合。第二承载部上设有复数个第二夹块分别对应第一夹块。第一夹块与第二夹块位于第一承载部与第二承载部之间，以使第一承载部与第二承载部间形成距离。吹气装置设置在载座上，配置成朝向承载架吹气。

主权项：1.一种晶圆吹干设备，包含：一载座；一承载架，可移动地设置在所述载座上，其中所述承载架配置成承载一晶圆，且所述承载架包含：一第一承载部，其中所述第一承载部上设有复数个第一夹块；以及一第二承载部，与所述第一承载部互相并合，其中所述第二承载部上设有复数个第二夹块分别对应所述复数个第一夹块，其中所述复数个第一夹块与所述复数个第二夹块位于所述第一承载部与所述第二承载部之间，以使所述第一承载部与所述第二承载部间形成一距离；以及一吹气装置，设置在所述载座上，配置成朝向所述承载架吹气，其中，所述复数个第一夹块中的每一个第一夹块朝向其对应的所述第二夹块的一第一表面上设有一第一凸出部；所述复数个第二夹块中的每一个第二夹块朝向其对应的所述第一夹块的一第二表面上设有一第二凸出部；以及其中所述第一凸出部与所述第二凸出部接触所述晶圆，所述第一表面与所述第二表面不接触所述晶圆。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奇景光电股份有限公司 晶圆吹干设备

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